20161226

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作者: 笑蚊子 | 来源:发表于2016-12-26 23:29 被阅读3次

光学镀膜更换铝箔，上午TiO2 离子源条件beam 550、500,ACC600，下午纳睿ARHR。

lpcvd 50片4寸，DSC172sccm, NH3

43sccm 压力160mtorr，速率4A/s，应力350～450MPa，150nm生长时间36.5＋1min

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