20161226

作者: 笑蚊子 | 来源:发表于2016-12-26 23:29 被阅读3次

光学镀膜更换铝箔,上午TiO2 离子源条件beam 550、500,ACC600,下午纳睿ARHR。

lpcvd 50片4寸,DSC172sccm, NH3

43sccm 压力160mtorr,速率4A/s,应力350~450MPa,150nm生长时间36.5+1min

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