等离子催化氧化是指有机废气经等离子激发、离解活化，然后活化的废气经高能射线照射在稀有金属氧化物表面，与废气中的氧气发生催化氧化反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到vocs废气处理的目的。等离子与催化氧化技术的结合解决了单一用等离子时能量利用率、处理效率低及应用条件高的缺陷。
等离子废气处理原理等离子催化氧化工作原理：
第一阶段：废气激发、离解活化
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体，利用高能粒子与气体分子（原子）发生非弹性碰撞，将能量转换成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程，使气体处于低温活化状态。
第二阶段：活化废气催化氧化分解
采用高能射线照射稀有金属氧化物，活化废气在金属氧化物表面发生催化氧化反应，利用废气中的氧气与废气反应生成水和二氧化碳，实现废气的净化。
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