半导体溅射靶材,顾名思义,是用来制造半导体用的材料,通过某种方式将超高纯金属以原子的形式溅射到硅片上,连通半导体芯片上的集成电路。
超高纯金属靶材样品,图片来原于网络
可以说,现在所有的电子产品都需要用到溅射靶材,半导体芯片,平板显示器,太阳能电池,各类存储器,电子元器件,光学设备等等都需要用到它。
苹果最新IPHONE7上的A10芯片已采用了江丰电子的材料
2014年,宁波江丰电子材料股份有限公司制造出了半导体用溅射靶材超高纯钛,在这之前我国的超高纯钛半导体溅射靶材一直依赖于进口,每年要向外方公司支付几百亿美元来购买相关半导体溅射靶材。甚在2011年之前,我们连用来研制半导体靶材的超高纯钛都造不出来,需要从国外进口,但是理想很丰满,现实很骨感,外国公司并不卖给我们,可以说,江丰电子材料公司制造超高纯钛是被逼出来的。
图片来源于江丰电子
2005年,浙江的一家初创公司曾向美国的霍尼韦尔公司开出超高纯钛的询价单,但立马被霍尼韦尔公司高层拒绝了,原因是“不能给中国提供原材料,让他们有机会自主发展半导体溅射靶材产业”。
当时中国生产的钛,最高纯度只有99.7%,也就是海绵钛,远远满足不了半导体溅射靶材的纯度要求(要到达99.999%),在中国公司在还未开发出超高纯钛之前,超高纯钛市场由美日三家公司垄断,这三家公司分别是美国的霍尼韦尔,日本的东邦钛业和大阪钛业。
我们为了研制超高纯钛半导体溅射靶材曾向霍尼韦尔和大阪钛业申请购买超高纯钛,但都被拒绝了,理由也就是上面讲的要封锁我们自主研发半导体溅射靶材的可能性。
没有了原材料,谈何研发,正是在这一背景之下,促成了我国半导体溅射靶材的一次革命。
2005年创立的宁波江丰电子材料股份有限公司成立,同年中国第一块半导体溅射靶材于该公司研发成功,2011年左右超高纯钛制造成功,2012年超高纯钛靶材研发成功。
图片来源于江丰电子
江丰电子材料公司,2014年第一条电子级低氧超高纯钛生产线投产,标志着我国打破美日超高纯钛靶材的垄断。
江丰电子生产的各类超高纯金属纯度表,数据来源于江丰电子
在创立近十年的时间里,我国的半导体溅射靶材从无到有,从原材料制造设备到靶材生产设备,从原材料制造工艺、到靶材加工工艺,完成了对世界半导体靶材技术最先进水平的逆袭。
图片来源于江丰电子
但这十年磨一剑,并没有想象当中的那么轻松,相关技术长时期没有突破,企业犹如进入“死亡谷”,即使在宣布了研发成功后,网上仍不乏质疑的声音。
正是在这样一种环境中,政府、企业都坚持了下来,现在江丰电子材料公司的产品已经征服全世界,出口到美欧日等发达国家,客户涵盖了中芯,台积电,三星,海力士,索尼,IBM等全球各主要半导体制造企业。
图片来源于江丰电子
就连苹果iphone7的A10芯片上也采用了该公司的半导体材料,也是“中国的电子产品第一次应用在全球最尖端16nm FinFET+技术超大规模集成电路制造领域”。
图片截自央视采访
江丰电子材料有限公司不仅打破了外国对超高纯钛的垄断,也打破了外国公司对超高纯金属半导体溅射靶材的垄断,使我国在半导体技术领域与国际先进行列又近了一点,大大减少了半导体靶材对国外半导体技术的依赖。
江丰电子材料有限公司主要创始人,右四为姚力军,“国家千人计划”专家,图片来源于江丰电子
很多时候西方借着许多堂皇的名头来限制我们的技术发展,当你触碰到这些利益既得者的利益时,他们会抱成一团用各种方式、方法,无论是合理还是不合理的,文明的还是野蛮的,都统统会被西方利益集团拿来打压你,毕竟,一个像印度一样的中国才符合西方的利益。
但很可惜,我们不是印度。
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