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遏住中国喉咙的光刻机,为何被一家荷兰公司所独占,还被美国控制

遏住中国喉咙的光刻机,为何被一家荷兰公司所独占,还被美国控制

作者: 地产养老高广银 | 来源:发表于2020-06-06 16:05 被阅读0次

光刻机,虽然它不是印钞机,但是它比印钞机还要价值连城。这是因为全球范围内,能够生产高端光刻机的只有阿斯麦(ASML)一家公司,但是它一年也只能生产20台左右的光刻机。为此各个国家挤破了头,也要抢夺这些仅有的光刻机。

华为虽然有芯片设计能力,但是却没有芯片的生产能力,因此不得不依靠台积电代工。可是台积电受制于美国“长臂管辖权”,4个月后将无法再为华为代工,也就是说未来华为将面临无芯片可用的窘境。内地唯一能生产芯片的中芯国际,也受制于阿斯麦光刻机不能对中国出口,美国似乎把所有的路都给堵死了。

什么是光刻机

光刻机顾名思义,就是要靠光来雕刻硅晶圆,光源越小,光刀的精度也越高。最早的集成电路诞生在美国的德州仪器和仙童公司,它们在硅片或者锗片上完成电子元器件的集成。这种集成的方式不但极大提高了逻辑线路的效率,而且还让集成电路的体积越来越小。

芯片光刻原理

光刻机通过匀胶、曝光、显影等一系列工艺步骤,在晶圆表面的薄膜上留下微型图形结构,从而将设计好的电路图从光刻板上转移到晶圆片表面光刻胶上,总的来说,这是一种图形复制的过程。

光刻机的精度取决于光源的能量,控制方式,以及误差的补偿手段等,光刻机精度越高代表刻画的线路越多,从而芯片的计算能量也越强。现在最先进的光刻机,光刻精度是7纳米,相当于我们头发丝的万分之一。如此高的雕刻精度,需要把误差控制在纳米级别上,光刻机是目前为止,最为精密的机械。

阿斯麦的逆袭

其实最早做光刻机的企业非常多,比如日本的尼康、佳能等。因为光刻机和相机的原理非常类似,所以很多相机企业都参与进来。可是日本尼康、佳能等企业,在一次次技术转型过程中,逐渐失去了领先优势,被阿斯麦用“沉浸式光刻法”所超越。

“沉浸式光刻法”是如何诞生的呢?我们先从光的特性说起。光具有波粒二相性,也就是说光能像水波一样,一层一层向外扩展,同时也像粒子一样,能够向外发射。当光的波长越小的时候,它就会呈现出水波一样的衍射现象。所以用于雕刻芯片的光刀,就受到大小限制,如果光刀波长变小就会产生衍射现象。

光波衍射现象

可是整个电子半导体产业就像一辆高速列车,每过18-24个月,芯片在大小不变的情况下,集成电路上可容纳的元器件会增长一倍,而这也要求光刀越来越小,能雕刻的更为细小的电路。

那什么是沉浸式光刻法呢?我们日常所看到的光线都是沿着直线传播,可是当光穿过水的时候,就会产生折射现象。而沉浸式光刻法就是利用光的折射现象,突破光刀限制。之前无论尼康还是德州仪器,光刀都被锁死在193纳米。

台积电的鬼才工程师林本坚大胆设想,如果让光刀透过水传播,是不是就能够突破193纳米了呢?可是无论在IBM,还是在尼康,都让林本坚都吃了闭门羹。因为光刀所需要的灵敏度是非常高的,水中的任何杂质都会影响到光刀的精度。元器件越小,所需要的光刻精度就越高,如果加入水介质,根本保证不了光刀的精度。

只有阿斯麦愿意去尝试,相比于行业巨头,这是唯一可以超越的机会,而台积电也正是因为最早应用这种工艺,而获得巨大突破。仅在2004年,台积电就依靠阿斯麦尔的先进工艺,拿下全球一半的芯片代工订单,一举超越行业巨头日本。

由于摩尔定律的诅咒,芯片产业奔跑的速度非常快,只要一步追不上,后面就很难赶上。同时芯片市场 还具有巨大的虹吸效应,订单越多,成本就会更低,技术也会迭代的更快,这也导致掉队的企业逐渐被淘汰。

阿斯麦如何做到一家独大的

1997年,美国政府成立了EUV LLC联盟,这个联盟当中除了英特尔、美国能源部以外,还有摩托罗拉、IBM、AMD等公司。此外还包括美国的三大实验室,劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室、以及劳伦斯伯克利实验室。

这几个实验室推动着美国科学技术的发展,其中包括超级计算机、核武器等国家重点项目,因此这些实验室的科学成果包括物理、化学、半导体等各类前沿技术。

虽然美国也有自己的光刻机生产企业,但是早被日本打得溃不成军。于是英特尔就拉来了阿斯麦,为何不拉日本企业呢?这也是美国的畏惧心理,担心日本企业再次做大,打压美国半导体企业。

光刻机技术几乎接近分子力学极限,如果进入量子领域,现有的研究都将被颠覆。技术越接近极限,要求设备系统就越精密,比如10纳米线条的光刻误差为±1纳米,这是很高的技术要求,单靠高精度的机械加工以及人工手动操作,是很难实现的,需要采用更多自动化技术。

2012年阿斯麦感觉这项技术研究就像无底洞,单凭自身是无法承受巨额研究费用的,于是英特尔连同台积电、三星共同入股阿斯麦,以此获得优先的供货权,形成了利益的共同体。

阿斯麦也抓住了机会,除了保证55%以上的零部件必须从美国采购以外,还在美国建设一个工厂以及一个研发中心,同意接受定期的审查。所以现在阿斯麦之所不敢出口光刻机给中国,也是源于此。

之后美国允许阿斯麦公司加入EUV LLC,共同参与开发,共同享受研究成果。EUV LLC在数年时间内,大幅推进了光刻机技术的研发,而阿斯麦也乘风起飞。

被关在EUV LLC之外的尼康,却受到英特尔的青睐,因为英特尔不希望阿斯麦一家做大。因此无论是32纳米工艺,还是22纳米工艺,英特尔总是分出一部分订单给尼康。

而半导体行业属于赢者通吃的战场,尼康在遭遇美国封锁之后,在竞争当中,逐渐和阿斯麦拉开差距,不但先进设备跟不上,设备的制造效率也远远落后于阿斯麦。相比于阿斯麦,尼康的缺陷率高达50%。一个芯片的加工需要2000-5000道工序,任何一个工序的误差,累计之后就会几何倍放大,这也是光刻机难点所在。

在韩国三星逐渐崛起之后,英特尔也逐渐放弃了尼康。尼康只能在193纳米存储器、模拟芯片以及普通逻辑芯片领域拥有一定份额,而阿斯麦在光刻机市场上,形成了一家独大的局面。

中国芯片技术落后的主要原因的

早年中国芯片设计以及生产技术并不落后,比如在1965年,在1平方厘米大小硅片上,集成了7个晶体管,1个二极管以及7个电阻,6个电容。1972年,我国自主研制出了PMOS大规模集成电路。

可是随着“两弹一星”工程顺利完成,我们的芯片产业呈现断崖式下滑,在上个世纪90年代,我们整个国家一年的投入,不及尼康一个月的投入。

上个世纪70年代,迎来中美关系的缓和,我们曾有引进美国生产技术的机会,可是由于对于芯片技术的不够重视,导致技术引进一直处于停滞的状态。

1990年,中国在“八五”计划当中,准备投资20亿元,其中15亿元用于建设无锡华晶电子,建设月产能1.2万片的晶圆厂。此时正值美国与日本进行芯片战争,韩国也是正值此时,引进了大量的先进技术及人才。

可是我们在工程费用审批上,共计花费了2年多的时间,从美国朗讯引进0.9微米的生产线过程中花费了3年多时间,等到厂房建设完成,开始投产,7年时间已经过去了,半导体技术在摩尔定律的趋势下,日新月异,这也导致了芯片生产,投产即亏损。

时至今日,光刻机的制程由20世纪50年代几十微米,发展到今天5纳米,而一台光刻机价格更是高达上亿美元,成为名副其实的印钞机。中国目前也能够生产光刻机,但是精度在90纳米,无法完成最新芯片生产的要求。

可是我们不能因此而止步,越是在危机时刻,越有可能出现转机。尤其疫情导致大批欧洲企业生产困难,正是我们引进技术的绝佳时期,我们决不能闭门造车,从而让中国的芯片产业进一步落后。

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