冷水机系统在气密性试验后必须抽真空。制冷剂管路应抽空两次，第一次抽空时压缩机截止阀如同气密性试验过程中保持关闭；然后打开压缩机截止阀将包括压缩机在内的整个系统再次抽真空。两次抽真空之间可加入适量制冷剂以吸收管路内可能存在的水分。建议从系统的低压端和高压端同时抽真空，且真空表应尽量远离真空泵的吸气口。不允许用压缩机自行抽真空。因为润滑油可被系统中可能存在的水分污染，而且真空度也不能达到要求。抽真空连接管道应选用足够的内径，尽量短且不能有急剧弯曲或狭窄的地方。抽真空操作时应仔细准确，否则系统内部存在的空气将润滑油在高温排气下结碳进而影响润滑质量。空气中存在的水分可腐蚀金属，分解润滑油及形成酸性物质，这种情况在高的排气压力/温度下将加速形成。
加注制冷剂应在系统抽真空后立即进行。建议从贮夜器截止阀的工业接口或通过加液阀加入额定量的制冷剂，此时磅秤上的制冷剂应保持出口阀向下，加液管道上应安装干燥过滤器。若制冷剂未加注至额定数量，可在系统运行时从低压侧补充气态制冷剂。
注意事项：
不允许压缩机在真空下启动以防止损坏其内置电机
不允许在真空状态下对压缩机进行高电压试验和电绝缘度试验
不允许直接从压缩机吸气侧加注液体制冷剂
不允许用煤气灯或焊具等直接加热制冷剂瓶
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