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能量色散型X荧光光谱仪EDX原理
来自X射线管的特征X射线照射到样品上,样品中含有的元素受X射线激发后会发出特有能量的X射线荧光。用检测器检测X射线荧光,根据X射线荧光的能量进行定性(确定含有什么元素),根据X射线荧光的强度进行定量(确定元素的含量)。
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检测器直接测定的是元素X射线荧光的强度,而我们关心的是元素的含量。利用X射线荧光的强度与元素含量存在比例关系,我们通过测定已知含量的标准样品建立工作曲线(安装工程师设定),再根据待测样品的X射线荧光的强度通过计算机自动换算为含量值。
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