20180316

3炉LPCVD SINx工艺，其中俞骁75片6寸165nm小批量；乔闯光学镀膜两炉；无锡晶圆张明B11注入6片5条件，客户送片收接，注意事项，工艺沟通。GSD注入加速桶后端束流线圈漏水。

明天注入机线圈拆除，光学镀膜腔室护板拆下喷砂维护，喷砂机更换灯泡。