真空镀膜的工艺过程

真空镀膜的工艺流程是怎么样的呢，今天小编就来和大家分享一下：

1、按镀膜机操作规程接通冷却水和压缩空气，打开电源，预热50分钟，打开离子轰击的高频电源开关预热；

2、将石英片装入符合要求的被银夹具中，在烘箱中加热到170~180℃，保持30分钟；

3、对真空室充气，并升起真空罩，清理真空室，按挡板键，移开挡板，在钼舟中加入所要求的银丝，并检查轰击圈与修正版的位置是否正确，插入已预热好的装有石英片的被银夹具，迅速降下真空罩，抽低真空和高真空，待真空度达到≤6.67×10-3Pa。

4、按模架旋转按钮，打开轰击高频电源的板压开关，打开针阀通入干燥干净的氩气或空气，使真空度达3~5×10-4乇（三针表的黄区）时，调节板压达600~1000V，按下按钮进行离子轰击1.5分钟后，按模架“翻转”按钮，对另一面轰击1.5分钟，轰击结束后，关闭针阀和轰击电源的板压。

5、按蒸发电源和蒸发启动键，把蒸发电流慢慢地加到70A，待银丝变成银珠后，打开挡板，再加大电流到90A，通过观察窗观察银丝是否已蒸发完，完毕后，按蒸发停止，将蒸发电流调节按钮调至零位，关闭蒸发电源，关上挡板，按模架翻转，翻转后，旋转蒸发旋转开关至Ⅱ档，开蒸发电源，蒸发启动，把蒸发电流慢慢地加到70A，待银丝变成银珠后，打开挡板，再加大电流到90A，待镀膜结束后，关上挡板，关闭蒸发电源，调节蒸发控制电流的旋转回零位。

6、蒸发完毕后，按下停止按钮，待3~5分钟后，启动充气装置，向真空室充气，充气结束后，按真空罩上升按钮，停止上升后，把真空罩转至适当位置，取出夹具。

7、石英片在烘箱中温度为170~180℃下老化1.5~2小时，待温度降至+50℃以下时取出，送上架点胶工序。

8、按操作规程要求，冷却、关机。