ARC 12M

1 开腔，换靶。

关闭F6，打开V，直到其达到760torr。打开腔体，关闭V。更换靶材。

注意：shutterF1F2F3的开关是否正常。rotate旋转是否正常。

2关腔，抽气，设定程序，运行。

关闭F5，打开F4抽到压力1.5e-1。关闭F4，打开F5,打开F6.抽气system is ok.

ESC进入到mainmenu.

设定DC 100w

RFpower不用

source order 设定先用那个程序

basepressure 0.0104torr

backfill

shutter delay:清洁作用

method of termination:time out 设定时间

设定完成后 start

3 放气，开腔。

关闭F6，打开V，等待15min后取出样品。关闭V.取出靶材归位，填写记录表。

抽气，关闭F5，打开F4.关闭F4，打开F5，打开F6.

4 如果用了N2/O2需要关闭阀门。check out.