1 开腔，换靶。
关闭F6，打开V，直到其达到760torr。打开腔体，关闭V。更换靶材。
注意：shutterF1F2F3的开关是否正常。rotate旋转是否正常。
2关腔，抽气，设定程序，运行。
关闭F5，打开F4抽到压力1.5e-1。关闭F4，打开F5,打开F6.抽气system is ok.
ESC进入到mainmenu.
设定DC 100w
RFpower不用
source order 设定先用那个程序
basepressure 0.0104torr
backfill
shutter delay:清洁作用
method of termination:time out 设定时间
设定完成后 start
3 放气，开腔。
关闭F6，打开V，等待15min后取出样品。关闭V.取出靶材归位，填写记录表。
抽气，关闭F5，打开F4.关闭F4，打开F5，打开F6.
4 如果用了N2/O2需要关闭阀门。check out.
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本文标题：ARC 12M
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