1.某微系统的原理性结构设计如图所示，试画出 其广义等效电路图，并通过对广义等效电路的分析，给出位移x1与作用力F的传递函数关系。

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等效电路图
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因为F产生的位移由m1及之前和m2及k2共同分担，因此两部分应为并联。
接下来计算传递函数,两个弹簧的位移分别位x1和x2

2.如图所示，一平行平板电容器由尺寸L=W=1000μm的 平板构成，平行平板之间的间距d=2μm，平行平板之 间为真空介质。试求当控制电压V=50V时，平板法向 静电力的大小？

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3.一种动力平衡式微型加速度计的工作原理如下图所 示，设质量块的质量为m，用于敏感图中x方向上的加速度；质量块左右两弹簧的弹性系数相等，均等 于k；另外，质量块运动的阻尼系数为b。试建立描述该微系统行为特性的传递函数理论模型。

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加速度为a的话，相当于弹簧的力的差值为ma
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总系统上的广义电压大小为ma
此时可知

所以系统传递函数为