士兰微电子12吋特色工艺晶圆项目及先进化合物半导体项目（更新）
项目概况：
项目名称：12吋特色工艺晶圆项目及先进化合物半导体项目
建设单位：杭州士兰微电子股份有限公司
项目地点：福建省厦门市海沧区
项目性质：新建
投资规模：2200000万元
起止年限：2018年10月-2020年12月
项目简介：
杭州士兰微电子股份有限公司是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的龙头企业，专业从事集成电路芯片设计以及半导体微电子相关产品制造，在我国集成电路产业中占据重要地位。此次，士兰微电子与海沧区政府的项目合作，加快布局国内首条12吋特色工艺晶圆制造产线和下一代化合物4/6吋产线，对于进一步完善中国东南沿海区域产业链条、提升厦门乃至福建集成电路产业在国家战略布局中的格局和地位，具有里程碑的意义。
士兰微电子与厦门半导体投资集团有限公司拟共同总投资220亿元，在海沧区建设符合国家集成电路产业发展规划、厦门集成电路产业发展规划纲要的12英寸特色工艺晶圆制造项目及先进化合物半导体晶圆制造项目。其中，12英寸90-65nm的特色工艺晶圆制造项目拟投资170亿元，产品定位为MEMS、功率半导体器件及相关产品。项目一期规划建设一条12英寸特色工艺生产线，规划产能8万片/月，采取分阶段实施，初期规划产能4万片/月。先进化合物半导体晶圆制造项目拟投资50亿元，建设一条4/6英寸兼容先进化合物半导体晶圆生产线，主要产品包括下一代光模块芯片、5G与射频相关模块、高端LED芯片等。
项目进展：
士兰微电子12吋特色工艺晶圆项目及先进化合物半导体项目，该项目于2017年12月签约，目前处于前期筹备阶段，现在正在做施工图设计，设计基本完成，于2018年10月18日举行开工仪式，预计于2020年底建成投产，相关设备计划采取招标形式采购。如有合作意向，可与相关负责人联系。
主要设备（供参考）：
缺陷检测机、测试机、角度机、应力测试机、破碎测试机、Au蒸发装置、NiCr蒸发装置、Au BPS蒸发装置、显微镜、测试机、干燥机、清洗槽、溅射机、预清洗槽、烘箱、剥离装置、刻蚀机、光刻机、涂胶显影机、去胶机、剥离机、存储机、扫描电镜、清洗机、化学沉积台、计数器、测量仪、预清洗槽、尾气处理系统、刻蚀机、去胶机、对位机、涂胶显影机、金沉积工序、甩干机、台阶仪、刻蚀机、注入机、四探针测试仪、合金/退火炉、PCM测试工序、测试机、自动排序机、卸片工序、激光划片机、清洗槽、卸片机、张膜机、显微镜、框架机、测试机、剥离机、BSV溅射工序、预清洗机、镀金机、刻蚀机、预清洗槽、抽真空系统、光刻机、涂胶显影机、GE6刻蚀槽、测量仪、键合机、粘合机、显微镜、测量仪、研磨机、引线测试机、打标机、自动排序机、研磨机、化学蒸镀机、炉管机台、离子植入机、蚀刻机、曝光机、涂布机、溅镀机台、四探针测试仪、特气柜、CVD设备、净化层流罩、腐蚀清洗柜、特气柜、擦片机、甩干机、清洗机、匀胶机、光刻机、腐蚀机、扩散炉、抛光机、划片机、电子显微镜、全自动外观检测机、探针台、全自动激光雕刻机、全自动晶圆贴膜去膜机、切割机、测试分选机、自动检测仪、空压机、冷却塔、风机、各种水泵、氢氧化钠碱液喷淋洗涤塔、硫酸喷淋洗涤塔、沸石浓缩转轮焚烧系统、POU装置、酸性废气洗涤塔、食堂安装油烟净化设施、氨氮废水处理系统、含氟废水处理系统、铜制程含铜废水处理系统、研磨含铜废水处理系统、HF/IPA废水处理系统、有机废水处理系统、酸碱废水处理系统、最终中和处理系统、立体库、货架、叉车、托盘等。
联系方式
联系方式：
建设单位：杭州士兰微电子股份有限公司
联系人：马（投资管理部）
电话：0571-8*******
联系人：许（项目负责人）
手机：180*******
联系人：陈（董事长）
电话：0571-8*******
联系人：黄*（总经办主任）
电话：0571-8*******
地址：浙江省杭州市黄姑山路4号
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