常用真空计的种类及特点
绝对真空计
绝对真空计是直接测量压强的。
- 弹性真空计
弹性真空计
真空计内安装弹性系数比较大的金属材料制成的弧形金属管。其开口的一端与通过真空计的接口与待测容器接通，另一端是密封的并固定在一个带有指针的连动装置上，弹性真空计的温度测量范围105~ 102Pa - 膜盒真空计
膜盒真空计由应变膜、传动装置、指针、和玻璃外壳组成
测量范围10~105±1%Pa
- 电容薄膜真空计
电容薄膜真空计可测量的真空范围是105~10-2Pa,根据型号可分为不同量程。测量精度
电容薄膜真空计
电容薄膜真空计具有较高的测量精度，测量范围宽，测量结果与气体种类无关等性能，广泛的在工业控制领域应用。测量精度可达±0.3%。 - U形真空计
u形真空计是最早发明的真空计，现在仍然有广泛使用。
使用水银作为工作介质，测量范围105-100Pa。
如果使用DC-702号硅油 测量下限可以达到10Pa
U形真空计
-
压缩真空计
压缩真空计， 是将待测气体从一个大容器中压缩到一个小体积容器中，使气体压强升高到用一个u形真空计就可以测量。
测量范围在1-1000Pa
压缩真空计
相对真空计
热传导真空计
当测量压强很低的时候，可以借助热传导效应来测量压强。
- 电阻真空计
电阻真空计测量热丝电阻的变化来获得高真空度，主要有恒压法和恒温法。恒压法的测量范围在100-10-1Pa，恒温法的测量上限可以扩展到105Pa。 - 热电偶真空计
测量范围在100-10-1Pa之间。限制测量下限的原因是从热电偶导走的热量中包括热丝的热辐射和气体分子的Q气之外，还有热丝的热辐射也导走一部分Q辐，还有从热丝两端引走的Q引。 - 电离真空计
电离真空计是通过使气体分子电离，测量离子数量(电流)而得出压强的真空计。其测量真空度在10-8Pa以上，被广泛应用于高真空至超高真空领域，定量性能优异。
电离真空计可以按照电离方式不同分为两种：一种是应用最广、靠高温阴极热电子发射原理而工作的热阴极电离真空计；另一种是利用真空中的高压放电原理而工作的冷阴极电离真空计。
热阴极电离真空计中使气体分子电离的电子，是通过加热灯丝来获得的。其基本构造包括灯丝、加速和捕捉电子的阳极网以及捕捉离子的离子收集极。
| 真空计种类 | 量程 | 精度 | 特点 |
|---|---|---|---|
| 弹性形变真空计 | 105Pa~102Pa | ±5%~±1% | 误差大适合粗真空 |
| 膜盒真空计 | 105Pa~102Pa | ±1%~±0.3% | 使用需要串接阻尼阀 |
| 电容薄膜真空计 | 105Pa~10-2Pa | ±1%~±0.3% | 测量精度高测量，测量范围宽，测量结果与气体种类无关 |
| U形真空计 | 105Pa~102Pa（水银） 105Pa~10-4Pa（硅油DC-702） | ±10% | 结构简单可靠，测量下限取决于介质的密度 |
| 压缩真空计 | 103Pa~1Pa（水银） | ±10% | 一般用于测量永久气体，不适合测量蒸气 |
| 热传导真空计 | 100Pa~1Pa | ±1%~±0.3% | 结构简单，仪器不怕暴露在大气中，可以稍远距离测量；受温度影响大、读数时间滞后、读数因气体种类而异、读数需要校准等缺点。 |
| 电离真空计 | 10-1Pa~10-8Pa | ±1%~±0.3% | 测量精度高，可以测量高真空。 |
网友评论