商周时期已有御史官职，职责是侍从记史，所以最初的御史按职能划分是史官。战国时，韩赵魏齐秦都设御史，其主要职能仍然是记史，但已经兼有了监察的职务。如《史记·滑稽列传》记载：执法在旁，御史在后。
秦始皇统一六国，奠定了中央集权统治的基本模式，其中包括负责监察内外官吏，促进国家法令上下贯彻实行的御史制度。皇帝之下设三公——丞相、太尉、御史大夫。御史大夫相当于副丞相，其助手为御史中丞，中丞的职权是掌管朝廷的图籍秘书、记事、处理直达君王的奏章，在殿中监察违法官吏。除中央机构外，御史大夫还领导着分察地方三十六郡的监御史。监御史的职责是监理诸郡，察地方违法事宜。
汉承秦制，中央仍设御史大夫，相当于副丞相，但职权重心已逐渐向监察方面转移。御史大夫的属员有御史中丞、侍御史、治书御史等。在地方，汉初废除了秦时的监御史，改由丞相随时派出的丞相史监察各郡。东汉，御史制度走上了专门化的道路。汉哀帝元寿二年，原来的三公，即丞相、太尉和御史大夫改称为大司徒、大司马、大司空。御史大夫改为大司空，分行丞相职务，实际上只负责水土营造，而他原来的监察职务则由其属官御史中丞另建御史台来行使。从此，监察官有了自己的专门公署。以御史中丞为长官的御史台地位不断提高。当时御史台与地位显要的尚书台、谒者台并称三台。御史台虽然名义上仍归九卿之一的少府管辖，但实际上是由皇帝撑腰，独立行使职权，少府不敢过问。在地方，监临地方的刺史，至东汉末大多数改称州牧，逐渐脱掉了监察官的性质，成为握有地方行政、军事、司法等大权的地方官员。
魏晋南北朝，御史台的隶属关系发生了重要变化。御史台名义上不再隶属于少府，而由皇帝直接领导。御史台的地位和威信达到了空前的高涨。御史号称天子耳目，御史中丞职无不察，专道而行，威势显赫，震肃百僚。魏以后，开创了御史风闻弹事的先例。而且为促使御史尽职，规定百官如有重罪，而中丞失科，则免其官职。
至隋朝，原来御史台长官御史中丞改称御史大夫。但此时的御史大夫，已非秦汉时御史大夫的原意了。大夫下设治书侍御史两人为副手，又设检校御史12人(隋炀帝时增至16人)代替原来的巡御史，专掌出外巡察。另外，为加强皇权，隋又重新设置了司隶校尉，居司隶台，以司隶大夫为台长，直属皇帝。司隶台与御史台地位并列，时与谒者台并称三台。后来，因司隶台与御史台职权重叠混乱，相互掣肘，所以至唐以后，司隶台和司隶刺史便废而不置。
唐代，御史制度有了进一步的发展。中央设御史台(亦称宪台)，御史大夫为台长(亦称大司宪)。武后时曾改御史台为左右肃政台，左台知百司、监军旅；右台察州县、省风俗。不久二台合并，复称御史台。内部以三院分职：台院为御史台本部，设侍御史六人，掌纠弹中央百官，参加司法机关大理寺审判和推鞠皇帝交付的重大案件；殿院，设殿中侍御史救人，掌殿廷供奉之仪，每逢朝班，纠察离班和出言不肃者，皇帝巡幸，则往来门旗之内，检校仪物亏失；察院依全国十道监察区设监察御史10人，掌察地方官吏及民情，亦仿效汉刺史以六条问事。
宋代沿袭唐制。表面上，皇帝开始亲自选任御史，提高了御史官的品味，增加了员额，权限范围也有所扩大，似乎御史台的地位大大加强了。但实际上，由于宋代兼官之风盛行，它官兼御史，御史兼它官，所以，实际上御史的监督职能削弱。
元代，御史的专职得到复原，且职权有所加强。在中央废止三院制，实行两院制：殿中司和察院。在地方，划分全国为二十二道监察区，各设由察院派出的监察御史常驻地方，称之为肃政廉访使。为了加强对各道肃政廉访使的领导，在河南和陕西二地特设了两个行御史台。行御史台是中央御史台的派出机关，其组织系统与中央御史台相同，也有御史大夫和御史中丞等长官，其职责在于统制各道宪司。
至明朝，洪武12年，御史台改为都察院，设左右都御史为长官，左右副都御使、左右佥都御使为副贰。在地方，按照当时的行政区划设十三道监察御史共110人，还不定期地派遣御史巡按地方，称之为巡按御史。明代御史台(都察院)的职权范围规定很详细，作用超越了前代。
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