微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械机构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口通信等一体的微型器件或系统。
半导体基换能器（semiconductor-based transducers）含两个核心概念
A.半导体基：在半导体基片上构建、制造或由半导体材料制造的换能器，且半导体基片/材料在换能器作用/性能上起不可替代作用。
B.换能：可将能和物理、化学现象/活动转换为电信号，或将电信号转换为任何物理现象/活动.
半导体基换能器仅有下列4种产品：
A.半导体基传感器：各种类型传感器的半导体微缩版本，可是温度传感器、压力传感器、麦克风等，只是工艺上必须满足“半导体基”的定义。 硅基传感器是半导体基传感器的一种，虽然理论上存在锗基、氮化镓基等其他类型的传感器，但对于实现此类产品的功能来说，其他半导体材料价格昂贵&且相对硅基没有明显性能提升，因此半导体基传感器主流为硅基传感器。
B.半导体基执行器：将电能转化为动能，如将马达（如直线马达）缩小到半导体规格的尺寸，如投影行业中微动马达驱动的镜片阵列为投影显示技术实现更加精密的色彩显示控制提供了硬件基础。
C.半导体基振荡器：作为压电晶体的替代品，不仅体积小，且对温度不敏感，是更适合电子产品使用的信号发生器。
D.半导体基谐振器：典型产品是薄膜腔滤波器（FBAR）,特别适合无线电通信使用，对改善接收信道复杂多样的设备的信息传递质量非常有效。由于新增的半导体基换能器是根据硬件结构和生产工艺作为划分标准，与传统的机电设备的以功能和应用行业作为划分标准大不同，因此新的子目商品来源非常广杂。世界海关组织历时五年，经十多轮讨论，定义出“来源商品包括但不限于84.22、84.31等29个品目”，通过举例提供了转换建议。我们根据贸易实践，采用9025.8000等税号商品作为新税号的商品来源，但该来源仅作为本国税率设置依据，在后续实践中，具体商品是否按半导体基换能器归类应由相关章注、类注描述确定。
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