自秦朝统一天下开始，御史成为专门的监察官，长官为御史大夫，比“金印紫绶”的丞相、太尉低一级，位列三公之末，九卿之首，“银印青绶，掌副丞相”，若丞相缺位，可由御史大夫升任。
从秦代开始，群臣奏事须由御史大夫转达。皇帝下诏也先由御史得诏，再下达丞相或郡县。同时，御史大夫可以举劾按章，享有弹劾查治之权，是皇帝督察和牵制丞相的利用手段。
秦代还在地方设置监御史，或称监郡御史或郡监。监御史与郡守、郡尉并称，负责监察郡守等人的行政事务。监御史一般不对县级行政事务进行监察，县级监察是郡守的职责，郡守设督邮，亦称督邮书掾、督邮曹掾。在郡以下到县一级，监察权与行政权是合二为一的。
相对于监察御史制度的完善，秦代的谏官言谏制度却很薄弱。秦代虽有谏大夫、给事中的官名，但都是加官，且无常员，也无常事。
制度的缺陷是人为造成的。秦始皇刚愎自用，不愿意受人监督，往往把正当的劝谏、议论当作诽谤、妖言。为此不但作出了“焚书坑儒”的极端举动，还把反对“焚书坑儒”的公子扶苏贬黜。秦二世矫诏继位后，更加有过而不及，对敢于进谏的官吏以诽谤罪进行严厉处置。
有秦一代，御史成为推行暴政的工具，言谏监察不起作用，在一定程度上造成皇权的绝对化，形成暴君专政，这也是秦朝迅速败亡的一个重大的制度原因。
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