单就「她」这一字形来说，其实在南北朝时期就已存在。但那时的「她」字其实是「姐」或者「毑」的异体，是方言中对于母亲的称呼，并不做代词来用。
中国古代第一部按部首编排的字书，南梁顾野王撰《玉篇》中对「她」字的记载
作为女性第三人称代词的「她」字，则是在五四时期才被重新发明，而且从出现到最终被认可还经历了一段艰难的奋斗。
关于「她」字的这段奋斗史，中国人民大学的黄兴涛教授在《「她」字的文化史——女性新代词的发明与认同研究》一书中做了详细考证
近代以前，汉字中的第三人称代词都没有性别之分。
19 世纪初，来华传教士们在翻译文本时则遇到了如何准确翻译 she 的问题，最开始的解决办法是用「该妇」来翻译 she。
西方派到中国大陆的第一位基督新教传教士罗伯特·马礼逊于 1814 年编成的《华英字典》中采用「该妇」的译法
马礼逊于 1823 年出版的首部中文英语语法书《英国文语凡例传》中则将英文中的he、she、it分别译作「他男」「他女」「他物」。
而在中文里最早尝试用特定汉字作女性第三人称代词的则是广州人郭赞生，他在1878年翻译出版的《文法初阶》中首次用「他」「伊」「彼」分别对应 he、she、it。
《文法初阶》中对男女第三人称代词的介绍
但是由于外文的影响甚微，20 世纪以前的这些尝试并没有引起太多的社会反响。
直到世界文学作品被广泛引进中国的新文化运动时期，关于汉字中男女性第三人称代词分化的问题才再一次被提出，并引起了广泛的讨论。「她」字也在这一时期被重新发明。
从 1917 年起，《新青年》杂志社内部就开始讨论英语中 she 的翻译问题，时任《新青年》编辑的刘半农最早提议可以创造一个女字旁的「她」字来专作女性第三人称代词。
曾任《新青年》编辑的刘半农
但是考虑到创造这样一个新字（由于早已废弃不用，他们当时并不知古已有「她」的字形），在印刷时需要大量新铸铅字，不甚便利，于是周作人建议暂不提倡用「她」，而是以「他」字下角注一个小号的「女」字来替代，即「他女」。
这一提议得到叶圣陶等人的响应，周作人、叶圣陶等一批先行者也率先开始在自己发表的文章中使用「他女」字。但是造型怪异，且排版依然不方便的「他女」字，也遭到更多人的反对。
周作人在其译作中使用「他女」字
1919 年 2 月 15 日，《新青年》刊登了一篇题为《英文 SHE 字译法之商榷》的文章，公开了语言学家钱玄同与周作人就「她」「他女」等字相关争议的对谈。
该文中，钱玄同认为「他女」使用起来并不方便，如果要重造一字，那「𡛥」则比「她」要好。但他更倾向的方案则是直接把英文中的 he、she、it 搬到汉文中来用，甚至世界语中的li、si、gi 可能更合适。
周作人的观点则有所转变，他放弃了此前提出的「他女」的方案，转而提出用相对古雅且便于印刷的「伊」字来作中文里的女性第三人称代词，这一观点得到钱玄同的赞同，两人达成共识。
五四时期倡导新文化的新青年们，后排左一为周作人，前排右一为钱玄同
对谈发表以后，以「伊」指代 she 的方案在当时产生了较大影响，得到很多人的认可。但与此同时，也有另一批人注意到了刘半农曾提出的「她」字，并开始在自己的作品中使用。比如北京的新潮社和少年中国学会的成员就热衷于使用「她」字。
1919 年 11 月 1 日周作人在发表于《新青年》的译作《沙漠间的三个梦》中用「伊」作女性第三人称代词
1920 年 3 月 21 日金德章最早发表在《民国日报》副刊《觉悟》上的诗歌《她么》中用「她」作女性第三人称代词
然而「她」字尽管已经开始被越来越多人使用，但同时也遭到了一些人的激烈反对。
比如自 1920 年 4 月 3 日起，激烈反对使用「她」字的寒冰与刘半农及其支持者就在当时的报刊杂志上以数篇你来我往的文章争论了关于「她」字的存废问题。
这类反对意见最主要的依据无非是说中文没有必要非得按照外文的惯例来徒增混乱，创造新字会带来不必要的麻烦。
除了从文字使用的实用角度进行批判以外，对于「她」字更强有力的反对则来自女权主义者。与一般人想象中「她」字的应用是女权运动推动的产物的判断截然相反，「她」字的使用其实一度遭到一些女权主义者的严厉批判。
批判的核心观点认为，以「亻」旁表示男性，却以「女」旁表示女性是将女性视为男性的附庸。尤其是对第三人称代词用字的讨论进一步分化，有人提出并开始以「牛」旁的「牠」对应it 之后，「她」字更是被指为隐含女性非「人」的观点，因而遭到抵制。
当时的《妇女共鸣》杂志还发表了《本刊拒用「她」字的启示》一文，强调在表示女性第三人称时只使用「伊」字。
一直坚持使用「伊」的《妇女共鸣》杂志
出于以上这些原因，在二十世纪二十年代初的中文世界里，相比「她」，用「伊」来作女性第三人称代词的选择显得更为主流。
但这种态势并没有持续太久。由于「她」字的「女」旁更能直接体现其含义，且「伊」字的读音与大众口语中男女性第三人称普遍皆读作 tā 的习惯相左，再加上后来「它」与「牠」的并用竞争，也避免了必须将「亻」「女」「牛」并列的尴尬，这就在一定程度上减缓了女权主义者的抵制情绪。于是，「她」字逐渐被更多人所接受。
而且虽然遭到一些女权主义者的抵制，但同样有很多女性作家并不觉得「她」字隐含侮辱女性的意思，并乐于在自己的文章中使用「她」字。
冰心是最早在自己的作品中使用「她」字的女性作家之一
此外，伴随郭沫若、许地山、王统照、郑振铎、茅盾等一批影响力较大的作家使用「她」字造成的影响，「她」字开始逐渐逆袭，成为女性第三人称代词的主流选择。
朱自清、叶圣陶、周作人、鲁迅等此前习惯使用「伊」字的作家也都逐渐顺应大势，改用「她」字。
鲁迅在 1924 年发表的小说《祝福》中正式使用「她」字
而在 1923 年底中华书局出版的《国语普通词典》、1932 年中华民国教育部发布通行全国的《国音常用字汇》、1935 年中华书局出版的《标准国音学生字典》、1935 年商务印书馆出版的《标准语大辞典》等权威字典中也都将「她」作为女性第三人称代词。
到了三十年代中后期，虽然就「她」字的读音还存在一些分歧，但除了陈寅恪等极少数学者坚持反对以外，「她」字作为中文里女性第三人称代词的事实已经基本被大众所接受。
值得一提的是，从五四时期的文本到如今的网络语言中，中文世界似乎一直乐于创造各种第三人称代词用字。
到现在为止，被用来作为第三人称代词的汉字，除了以上提及的他、她、伊、它、牠 、彼以外，还有佢、祂、彵、𤜣、怹、虵……
本文参考：
黄兴涛，《「她」字的文化史——女性新代词的发明与认同研究》，福建教育出版社，2009
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